| Обозначение | DIN EN 62047-18-2014 |
| Заглавие на русском языке | Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические приборы. Часть 18. Метод испытания на изгиб тонкопленочных материалов |
| Заглавие на английском языке | Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 18: Bend testing methods of thin film materials (IEC 62047-18:2013); German version EN 62047-18:2013 |
| Дата опубликования | 01.04.2014 |
| МКС | 31.080.01*31.220.01 |
| Вид стандарта | ST |
| Обозначение заменяемого(ых) | DIN EN 62047-18(2011-06) |
| Язык оригинала | немецкий |
| Количество страниц оригинала | 15 |
| Перекрестные ссылки | IEC 62047-6(2009-04) |
| Код цены | Preisgruppe 13 |
 |