Обозначение | DIN 50451-2-1990 |
Заглавие на русском языке | Кислота плавиковая для полупроводниковой технологии. Определение следов кобальта, хрома, меди, железа и никеля методом эмиссионной спектрометрии в плазме |
Заглавие на английском языке | Determination of cobalt, chromium, copper, iron and nickel as impurities in hydrofluoric acid for use in semiconductor technology by plasma-induced emission spectrometry |
Дата опубликования | 01.10.1990 |
МКС | 29.045 |
Аннотация (область применения) | The standard defines the test method for the determination of traces of the metals Co, Cr, Cu, Fe and Ni in hydrofluoric acid used in the semicondictor technology. |
Вид стандарта | ST |
Обозначение заменяемого(ых) | DIN 50451-2(1988-11) |
Обозначение заменяющего | DIN 50451-2(2003-04) |
Язык оригинала | немецкий |
Количество страниц оригинала | 2 |
Перекрестные ссылки | DIN 8120-1(1981-07)*DIN 12650-2(1981-10)*DIN 12664-1(1983-08)*DIN 38402-43(1984-12)(Draft)*DIN 51401-1(1983-12) |
Код цены | Preisgruppe 5 |
 |