Обозначение | DIN 50452-3-1995 |
Заглавие на русском языке | Жидкости для полупроводниковой технологии. Метод гранулометрического анализа. Часть 3. Калибровка оптических счетчиков частиц |
Заглавие на английском языке | Testing of materials for semiconductor technology - Test method for particle analysis in liquids - Part 3: Calibration of optical particle counters |
Дата опубликования | 01.10.1995 |
МКС | 29.045 |
Вид стандарта | ST |
Обозначение заменяемого(ых) | DIN 50452-3(1993-08) |
Язык оригинала | немецкий |
Количество страниц оригинала | 6 |
Перекрестные ссылки | DIN 50452-2(1991-03)*ASTM F 658(1987)*ASTM F 1226(1989) |
Код цены | Preisgruppe 6 |
 |