Обозначение | ISO 14644-13:2017 |
Статус | Действует |
Вид стандарта | ST |
Заглавие на русском языке | Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 13. Очистка поверхностей до определенных уровней чистоты относительно классификаций по концентрации частиц и по концентрации химических загрязнений |
Заглавие на английском языке | Cleanrooms and associated controlled environments -- Part 13: Cleaning of surfaces to achieve defined levels of cleanliness in terms of particle and chemical classifications |
Код КС (ОКС, МКС) | 13.040.35 |
ТК – разработчик стандарта | TC 209 |
Язык оригинала | английский |
Номер издания | 1 |
Дата опубликования | 11.07.2017 |
Количество страниц оригинала | 42 |
Код цены | E |
Примечание | |
 |