Обозначение | DIN EN ISO 14644-15-2018 |
Заглавие на русском языке | Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 15. Оценка пригодности к использованию оборудования и материалов по концентрации химических загрязнений в воздухе |
Заглавие на английском языке | Cleanrooms and associated controlled environments - Part 15: Assessment of suitability for use of equipment and materials by airborne chemical concentration (ISO 14644-15:2017); German version EN ISO 14644-15:2017 |
Дата опубликования | 01.03.2018 |
МКС | 13.040.35 |
Вид стандарта | ST |
Обозначение заменяемого(ых) | DIN EN ISO 14644-15(2016-05) |
Язык оригинала | немецкий |
Количество страниц оригинала | 32 |
Перекрестные ссылки | DIN EN ISO 14644-1(2016-06)*DIN EN ISO 14644-8(2013-06)*DIN EN ISO 14644-10(2013-06)*DIN EN ISO 14644-14(2017-01)*DIN EN ISO 16000-9(2008-04)*DIN ISO 2889(2012-07)*DIN ISO 16000-6(2012-11)*ISO 2889(2010-03)*ISO 8573-8(2004-02)*ISO 14644-1(2015-12)*ISO 14644-8(2013-02)*ISO 14644-10(2013-03)*ISO 14644-14(2016-09)*ISO 16000-6(2011-12)*ISO 16000-9(2006-02)*JIS B 9926(1991-03-01)*SAE AIR 1167(1970-07-15)*VDI 2083 Blatt 9.1(2006-12) |
Код цены | Preisgruppe 14 |
|