| Обозначение | ISO 14644-12:2018 |
| Статус | Действует |
| Вид стандарта | ST |
| Заглавие на русском языке | Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 12. Требования к текущему контролю чистоты воздуха по концентрации частиц с размерами в нанодиапазоне |
| Заглавие на английском языке | Cleanrooms and associated controlled environments -- Part 12: Specifications for monitoring air cleanliness by nanoscale particle concentration |
| Код КС (ОКС, МКС) | 13.040.35 |
| ТК – разработчик стандарта | TC 209 |
| Язык оригинала | английский |
| Номер издания | 1 |
| Дата опубликования | 30.08.2018 |
| Количество страниц оригинала | 18 |
| Аннотация (область применения) | Настоящий стандарт устанавливает требования к текущему контролю чистоты воздуха по концентрации аэрозольных частиц в нанодиапазоне.
Для целей настоящего стандарта используются только частицы с пороговым размером 0,1 мкм (100 нм) и ниже – “нанодиапазон”.
Текущий контроль, представленный в настоящем стандарте, применим, в основном, для “эксплуатируемого” состояния |
| Количество страниц перевода | 20 |
| Код цены | B |
| Примечание | |
 |