Обозначение | ISO 14644-3:2019 |
Статус | Действует |
Вид стандарта | ST |
Заглавие на русском языке | Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 3. Методы испытаний |
Заглавие на английском языке | Cleanrooms and associated controlled environments -- Part 3: Test methods |
Код КС (ОКС, МКС) | 13.040.35 |
Обозначение заменяемого(ых) | ISO 14644-3:2005 |
ТК – разработчик стандарта | TC 209 |
Язык оригинала | английский |
Номер издания | 2 |
Дата опубликования | 30.08.2019 |
Количество страниц оригинала | 60 |
Аннотация (область применения) | Настоящий стандарт устанавливает методы испытаний и контроля параметров чистых помещений и чистых зон на соответствие классу чистоты воздуха, другим характеристикам чистоты и относящимся к ним контролируемым условиям.
Предусматривается выполнение двух видов испытаний чистых помещений и чистых зон (с однонаправленным и неоднонаправленным потоками воздуха) в трех возможных состояниях (построенном, оснащенном и эксплуатируемом).
Установлены методы испытаний, рекомендуемое испытательное оборудование и методики испытаний для определения эксплуатационных параметров. Если метод испытаний зависит от типа чистого помещения или чистой зоны, то предлагаются альтернативные методики.
Для некоторых видов испытаний рекомендованы несколько различных методов и видов оборудования для учета различных условий конечного пользователя. Альтернативные методы, не включенные в настоящий стандарт, могут использоваться по соглашению между заказчиком и исполнителем. Альтернативные методы не обязательно обеспечивают эквивалентные результаты.
Настоящий стандарт не распространяется на испытания продукции или процессов в чистых помещениях, чистых зонах или изолирующих устройствах |
Количество страниц перевода | 62 |
Код цены | G |
Примечание | |
 |