| Обозначение | DIN IEC/IEEE 62659-2019 |
| Заглавие на русском языке | Нанопроизводство. Крупносерийное производство наноэлектроники |
| Заглавие на английском языке | Nanomanufacturing - Large scale manufacturing for nanoelectronics (IEC/IEEE 62659:2015) |
| Дата опубликования | 01.09.2019 |
| МКС | 07.120 |
| Вид стандарта | ST |
| Обозначение заменяемого(ых) | DIN IEC 62659(2013-09) |
| Язык оригинала | немецкий |
| Количество страниц оригинала | 12 |
| Перекрестные ссылки | IEC/PAS 62565-2-1(2011-03)*IEC 62624(2009-08)*ISO 14644-1(2015-12)*ISO 14644-2(2015-12)*ISO 14644-3(2005-12)*ISO 14644-4(2001-04)*ISO 14644-5(2004-08)*ISO 14644-6(2007-07)*ISO 14644-7(2004-10)*ISO 14644-8(2013-02)*ISO 14698-1(2003-09)*ISO 14698-2(2003-09)*ISO/TS 27687(2008-08)*ISO/TS 80004-1(2015-12)*ISO/TS 80004-3(2010-05) |
| Код цены | |
 |