ISO 21466:2019
Микроанализ электронно-зондовый. Растровая электронная микроскопия. Метод оценки критических размеров с помощью CD-SEM
На языке оригинала
Заказать перевод
Библиография
Обозначение
ISO 21466:2019
Статус
Действует
Вид стандарта
ST
Заглавие на русском языке
Микроанализ электронно-зондовый. Растровая электронная микроскопия. Метод оценки критических размеров с помощью CD-SEM
Заглавие на английском языке
Microbeam analysis Scanning electron microscopy Method for evaluating critical dimensions by CD-SEM
Код КС (ОКС, МКС)
37.020
ТК – разработчик стандарта
TC 202/SC 4
Язык оригинала
английский
Номер издания
1
Дата опубликования
13.12.2019
Количество страниц оригинала
54
Код цены
F
Примечание
Стандарт ISO 21466:2019 входит в рубрики классификатора:
ОКС \ ТЕХНОЛОГИЯ ПОЛУЧЕНИЯ ИЗОБРАЖЕНИЙ \ Оптическое оборудование *Включая микроскопы, телескопы, бинокли, оптические материалы, оптические компоненты и оптические системы *Офтальмологическое оборудование см. 11.040.70 *Оптические измерительные приборы см. 17.180.30 *Линзы для фотографической аппаратуры см. 37.040.10 \
Постоянная ссылка
https://www.standards.ru/document/6481861.aspx