| Обозначение | ISO 16413:2020 |
| Статус | Действует |
| Вид стандарта | ST |
| Заглавие на русском языке | Оценка толщины, плотности и ширины поверхности раздела тонких пленок с помощью рентгеновской рефлектометрии. Инструментальные требования, выравнивание и позиционирование, сбор, анализ и представление данных |
| Заглавие на английском языке | Evaluation of thickness, density and interface width of thin films by X-ray reflectometry Instrumental requirements, alignment and positioning, data collection, data analysis and reporting |
| Код КС (ОКС, МКС) | 35.240.70; 71.040.40 |
| Обозначение заменяемого(ых) | ISO 16413:2013 |
| ТК – разработчик стандарта | TC 201 |
| Язык оригинала | английский |
| Номер издания | 2 |
| Дата опубликования | 14.08.2020 |
| Количество страниц оригинала | 40 |
| Код цены | E |
| Примечание | Документ содержит цветные иллюстрации |
 |