Обозначение | ISO 14644-17:2021 |
Статус | Действует |
Вид стандарта | ST |
Заглавие на русском языке | Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 17. Примеры использования результатов измерения скорости осаждения частиц |
Заглавие на английском языке | Cleanrooms and associated controlled environments Part 17: Particle deposition rate applications |
Код КС (ОКС, МКС) | 03.220.20; 35.240.60 |
ТК – разработчик стандарта | TC 209 |
Язык оригинала | английский |
Номер издания | 1 |
Дата опубликования | 08.02.2021 |
Количество страниц оригинала | 34 |
Код цены | D |
Примечание | |
 |