KS L ISO 21859
Fine ceramics (advanced ceramics, advanced technical ceramics) - Test method for plasma resistance of ceramic components in semiconductor manufacturing equipment
На языке оригинала
Заказать перевод
Библиография
Обозначение
KS L ISO 21859
Международный стандарт
ISO 21859:2019(IDT)
Заглавие на английском языке
Fine ceramics (advanced ceramics, advanced technical ceramics) - Test method for plasma resistance of ceramic components in semiconductor manufacturing equipment
Дата опубликования
2023.07.31
Код МКС
81.060.30
Стандарт KS L ISO 21859 входит в рубрики классификатора:
ОКС \ СТЕКОЛЬНАЯ И КЕРАМИЧЕСКАЯ ПРОМЫШЛЕННОСТЬ \ Керамика * Включая стеклокерамику \ Высококачественная керамика \
Постоянная ссылка
https://www.standards.ru/document/7425758.aspx