|
![](/i/imgs/sp.gif) |
Библиография Обозначение | ISO 8181:2023 | Статус | Действует | Вид стандарта | ST | Заглавие на русском языке | Атомно-слоевое осаждение. Словарь | Заглавие на английском языке | Atomic layer deposition Vocabulary | Код КС (ОКС, МКС) | 01.040.25; 25.220.01 | ТК – разработчик стандарта | TC 107 | Язык оригинала | английский | Номер издания | 1 | Дата опубликования | 16.10.2023 | Количество страниц оригинала | 18 | Код цены | A | Примечание | | ![](/i/imgs/sp.gif) |
|
![](/i/imgs/sp.gif) |
Стандарт ISO 8181:2023 входит в рубрики классификатора:
| | | |
|