KS C IEC TR 63258
Nanotechnologies - A guideline for ellipsometry application to evaluate the thickness of nanoscale films
На языке оригинала
Заказать перевод
Библиография
Обозначение
KS C IEC TR 63258
Международный стандарт
IEC TR 63258:2021(IDT)
Заглавие на английском языке
Nanotechnologies - A guideline for ellipsometry application to evaluate the thickness of nanoscale films
Дата опубликования
2024.05.31
Код МКС
07.120
Стандарт KS C IEC TR 63258 входит в рубрики классификатора:
ОКС \ МАТЕМАТИКА. ЕСТЕСТВЕННЫЕ НАУКИ \ Нанотехнологии \
Постоянная ссылка
https://www.standards.ru/document/7580613.aspx