| Обозначение | IEC 62047-47(2024) |
| Заглавие на русском языке | Полупроводниковые устройства. Микроэлектромеханические устройства. Часть 47. Технология изготовления МЭМС на основе кремния. Метод измерения прочности микроструктур на изгиб |
| Заглавие на английском языке | Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 47: Silicon based MEMS fabrication technology - Measurement method of bending strength of microstructures |
| МКС | 31.080.99 |
| Вид стандарта | ST |
| Дата опубликования | 23.08.2024 |
| Язык оригинала | английский |
| Количество страниц оригинала | 16 |
| ТК – разработчик стандарта | TC 47/SC 47F |
| Номер издания | 1.0 |
| Статус | Действует |
| Код цены | D |
 |