Библиография | Обозначение | GB/T 44375-2024 | | Заглавие на английском языке | Requirements for load ports of 300mm semiconductor equipment | | Дата опубликования | 2024-08-23 | | Дата вступления в силу | 2025-03-01 | | Код МКС | 31.260 | | Степень гармонизации | | | Количество страниц оригинала | 16 | | Статус | Published | | Тип стандарта | voluntary national standard | | Язык оригинала | Chinese | | Доступные языки | | | Имя файла | | | GPQ | L97 |  |
|