| Обозначение | GB/T 30652-2023 |
| Заглавие на английском языке | Trichlorosilane for silicon epitaxial |
| Дата опубликования | 2023-08-06 |
| Дата вступления в силу | 2024-03-01 |
| Код МКС | 29.045 |
| Обозначение заменяемого(ых) | GB/T 30652-2014 |
| Степень гармонизации | |
| Количество страниц оригинала | 12 |
| Статус | Published |
| Тип стандарта | voluntary national standard |
| Язык оригинала | Chinese |
| Доступные языки | |
| Имя файла | |
| CCS Code | H83 |
 |