GB/T 42897-2023 | | | Micro-electromechanical systems（MEMS） technology—Tensile strength test method for nano-scale membranes of silicon based MEMS |
|
|
 |
Библиография | Обозначение | GB/T 42897-2023 | | Заглавие на английском языке | Micro-electromechanical systemsпј€MEMSпј‰ technology—Tensile strength test method for nano-scale membranes of silicon based MEMS | | Дата опубликования | 2023-08-06 | | Дата вступления в силу | 2023-12-01 | | Код МКС | 31.200 | | Степень гармонизации | | | Количество страниц оригинала | 16 | | Статус | Published | | Тип стандарта | voluntary national standard | | Язык оригинала | Chinese | | Доступные языки | | | Имя файла | | | CCS Code | L59 | |
|
|
Стандарт GB/T 42897-2023 входит в рубрики классификатора:
| | |
|