|
 |
Библиография | Обозначение | GB/T 16523-1996 | | Заглавие на английском языке | Specification for round quartz photomask substrates | | Дата опубликования | 1996-09-09 | | Дата вступления в силу | 1997-05-01 | | Код МКС | 31.200 | | Разработан на основе | SEMI P4:1992 | | Степень гармонизации | EQV | | Количество страниц оригинала | 12 | | Статус | Published | | Тип стандарта | voluntary national standard | | Язык оригинала | Chinese | | Доступные языки | | | Имя файла | | | CCS Code | L90 | |
|
|
Стандарт GB/T 16523-1996 входит в рубрики классификатора:
| | |
|