GB/T 44517-2024
Micro-electromechanical systems (MEMS) technology—Wafer curvature and cantilever beam deflection test methods for determining residual stresses of MEMS films
На языке оригинала
Заказать перевод
Библиография
Обозначение
GB/T 44517-2024
Заглавие на английском языке
Micro-electromechanical systems (MEMS) technology—Wafer curvature and cantilever beam deflection test methods for determining residual stresses of MEMS films
Дата опубликования
2024-09-29
Дата вступления в силу
2025-04-01
Код МКС
31.080.99
Разработан на основе
IEC 62047-16:2015
Степень гармонизации
IDT
Количество страниц оригинала
16
Статус
Published
Тип стандарта
voluntary national standard
Язык оригинала
Chinese
Доступные языки
Имя файла
CCS Code
L59
Стандарт GB/T 44517-2024 входит в рубрики классификатора:
ОКС \ ЭЛЕКТРОНИКА \ Полупроводниковые приборы * Полупроводниковые материалы см. 29.045 \ Полупроводниковые приборы прочие \
Постоянная ссылка
https://www.standards.ru/document/7769296.aspx