ОСТ11-032.920-82 | | | Структуры эпитаксиальные и пленки диэлектрические. Метод измерения толщины эпитаксиальных слоев кремния в структурах типа кремний на сапфире (КНС) на основе ИК-интерференции |
|
|
 |
Библиография | Обозначение | ОСТ11-032.920-82 | | Заглавие на русском языке | Структуры эпитаксиальные и пленки диэлектрические. Метод измерения толщины эпитаксиальных слоев кремния в структурах типа кремний на сапфире (КНС) на основе ИК-интерференции | | Дата введения в действие (опубликования) | 01.01.1983 | | Код КС (ОКС, МКС) | 29.045 | | Код КГС | Э29 | | Код ОКСТУ | 6309 | | Индекс рубрикатора ГРНТИ | 470181;470190 | | Вид требований | Требования единые гарантирующие конкурентноспособность на мировом рынке | | Количество страниц (оригинала) | 14 | | Примечание | | |
|
|
Изменения |
Стандарт ОСТ11-032.920-82 входит в рубрики классификатора:
| | | | | |
|