DIN 50441-5-1998
На языке оригинала
Заказать перевод
Библиография
Обозначение
DIN 50441-5-1998
Заглавие на английском языке
Testing of materials for semiconductor technology - Determination of the geometric dimensions of semiconductor wafers - Part 5: Terms of shape and flatness deviation
Дата опубликования
01.05.1998
МКС
01.040.29*29.045
Вид стандарта
ST*N
Обозначение заменяющего
DIN 50441-5-2001
Язык оригинала
немецкий
Количество страниц оригинала
10
Перекрестные ссылки
ASTM F 534-91*ASTM F 657-92*ASTM F 1451-92*DIN 50441-1*DIN 50441-3*JEIDA 43-1987*SEMI M1-95
Код цены
Preisgruppe 8
Стандарт DIN 50441-5-1998 входит в рубрики классификатора:
ОКС \ ЭЛЕКТРОТЕХНИКА \ Полупроводниковые материалы \
ОКС \ ОБЩИЕ ПОЛОЖЕНИЯ. ТЕРМИНОЛОГИЯ. СТАНДАРТИЗАЦИЯ. ДОКУМЕНТАЦИЯ \ Словари * Стандарты, включенные в эту группу, следует также включать в другие группы и/или подгруппы в соответствии с их объектами \ Электротехника (Словари) \
Постоянная ссылка
https://www.standards.ru/document/4198208.aspx