Обозначение | IEC 62047-10(2011) |
Заглавие на русском языке | Полупроводниковые приборы. Микро-электромеханические приборы. Часть 10. Испытание на сжатие микро - колонн для материалов MEMS |
Заглавие на английском языке | Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 10: Micro-pillar compression test for MEMS materials |
МКС | 31.080.99 |
Вид стандарта | ST |
Обозначение заменяющего в части | IEC 62047-10(2011)/Cor.1(2012) |
Дата опубликования | 26.07.2011 |
Язык оригинала | английский;французский |
Количество страниц оригинала | 26 |
ТК – разработчик стандарта | SC 47F |
Номер издания | 1.0 |
Статус | Действует |
Код цены | C |
![](/i/imgs/sp.gif) |