| Обозначение | OVE/ONORM EN 62047-8:2012 02 01 |
| Заглавие на русском языке | Полупроводниковые приборы. Микро-электро-механические приборы. Часть 8. Методы испытания на осевую усталость тонкопленочных материалов |
| Заглавие на английском языке | Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 8: Strip bending test method for tensile property measurement of thin films
(IEC 62047-8:2011) (english version) |
| Код МКС | 31.080.99 |
| Дата опубликования | 01.02.2012 |
| Язык оригинала | английский |
 |