| Обозначение | IEC 62047-25(2016) |
| Заглавие на русском языке | Приборы полупроводниковые. Микроэлектромеханические приборы. Часть 25. Технология изготовления MEMS на основе кремния. Метод измерения прочности на отрыв-сжатие и на сдвиг контактной микроплощадки |
| Заглавие на английском языке | Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 25: Silicon based MEMS fabrication technology - Measurement method of pull-press and shearing strength of micro bonding area |
| МКС | 31.080.99 |
| Вид стандарта | ST |
| Дата опубликования | 29.08.2016 |
| Язык оригинала | английский;французский |
| Количество страниц оригинала | 50 |
| ТК – разработчик стандарта | TC 47/SC 47F |
| Номер издания | 1.0 |
| Статус | Действует |
| Код цены | F |
 |