| Обозначение | ОСТ11-032.920-82 |
| Заглавие на русском языке | Структуры эпитаксиальные и пленки диэлектрические. Метод измерения толщины эпитаксиальных слоев кремния в структурах типа кремний на сапфире (КНС) на основе ИК-интерференции |
| Дата введения в действие (опубликования) | 01.01.1983 |
| Код КС (ОКС, МКС) | 29.045 |
| Код КГС | Э29 |
| Код ОКСТУ | 6309 |
| Индекс рубрикатора ГРНТИ | 470181;470190 |
| Вид требований | Требования единые гарантирующие конкурентноспособность на мировом рынке |
| Количество страниц (оригинала) | 14 |
 |