Обозначение | DIN 50437-1979 |
Заглавие на русском языке | Материалы полупроводниковые неорганические. Определение толщины эпитаксиального слоя кремния методом инфракрасной интерферометрии |
Заглавие на английском языке | Testing of semi-conductive inorganic materials; measuring the thickness of silicon epitaxial layer thickness by infrared interference method |
Дата опубликования | 01.06.1979 |
МКС | 29.045 |
Вид стандарта | ST |
Обозначение заменяемого(ых) | DIN 50437(1977-07) |
Язык оригинала | немецкий |
Количество страниц оригинала | 6 |
Перекрестные ссылки | DIN 50431(1972-11)*DIN 50432(1974-01) |
Код цены | Preisgruppe 5 |
|